研究目的
研究RTD设计参数对RTD I-V特性方差的影响,并确定对RTD I-V特性影响最显著的主导工艺误差。
研究成果
所开发的RTD电流-电压特性建模软件包可用于研究工艺误差对I-V特性变异的影响。研究表明,二极管RTS工艺误差对RTD批次I-V特性变异的贡献最大。模拟数据与实验结果相符。
研究不足
该研究聚焦于RTD I-V特性的初始区段,并未涵盖整个工作范围。仿真精度通过27只二极管的有限批次进行验证。
研究目的
研究RTD设计参数对RTD I-V特性方差的影响,并确定对RTD I-V特性影响最显著的主导工艺误差。
研究成果
所开发的RTD电流-电压特性建模软件包可用于研究工艺误差对I-V特性变异的影响。研究表明,二极管RTS工艺误差对RTD批次I-V特性变异的贡献最大。模拟数据与实验结果相符。
研究不足
该研究聚焦于RTD I-V特性的初始区段,并未涵盖整个工作范围。仿真精度通过27只二极管的有限批次进行验证。
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