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扫描电子显微镜入门指南 || 扫描电镜成像技术

DOI：10.1007/978-3-319-98482-7_4 出版年份：2018 更新时间：2025-09-23 15:19:57
摘要： 扫描电子显微镜因其操作简便、样品制备相对简单且图像解读直观，常被用于表征各类材料。新手经过少量练习即可轻松获取图像。然而，高分辨率显微成像及"疑难"样品的检测需要掌握扫描电镜成像原理的经验与技巧。本章将详细阐述显微观察过程中各类操作参数的作用，讨论这些参数对图像对比度、分辨率及景深的影响，并深入分析直接影响图像质量、获取信息类型及图像解读的显微条件利弊。此外，本章还总结了扫描电镜仪器的操作与维护指南。
作者： A. Ul-Hamid
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研究概述 实验方案 设备清单

研究目的

描述扫描电子显微镜（SEM）操作过程中各类参数的作用及其对图像对比度、分辨率和景深的影响，并提供该仪器的操作与维护指南。

研究成果

扫描电子显微镜（SEM）是详细观察材料微观结构特征的有力工具。高分辨率显微成像及难处理样品的检测需要操作者掌握扫描电镜成像原理的专业经验。本章提供了仪器操作与维护指南，以实现高质量图像的获取。

研究不足

该章节提到，可达到的分辨率并非仪器常数，会随样品和应用情况而变化。高分辨率能力或许能在空间上分辨两个特征，但信噪比不佳可能无法提供观察样品形貌所需的足够对比度。

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