1：实验设计与方法选择：

本研究采用MACE法，通过改变蚀刻参数（硝酸银和过氧化氢浓度）合成了三种不同直径（90、120和140纳米）的硅纳米线。使用原位和非原位技术测量了空气传播和水性纳米颗粒排放，并将硅纳米线作为锂离子电池纽扣电池的阳极进行测试。

2：120和140纳米）的硅纳米线。使用原位和非原位技术测量了空气传播和水性纳米颗粒排放，并将硅纳米线作为锂离子电池纽扣电池的阳极进行测试。 样品选择与数据来源：

2. 样品选择与数据来源：以硅（100）晶圆片为基底，依次用丙酮、乙醇和去离子水清洗。从蚀刻和清洗步骤中收集纳米颗粒排放物。

3：实验设备与材料清单：

设备包括超细颗粒计数器（TSI 3776）、扫描电迁移率粒径谱仪（TSI 3936）、扫描电子显微镜（日立S4800）、能谱仪、ZetaPlus（布鲁克海文仪器公司）、电感耦合等离子体质谱仪、X射线光电子能谱仪及蓝电CT2001A电池测试仪。材料包括硝酸银、氢氟酸、过氧化氢、硝酸、丙酮、乙醇、炭黑、海藻酸钠粘合剂、铜箔、金属锂、六氟磷酸锂电解液及Celgard-2320隔膜。

4：6）、扫描电迁移率粒径谱仪（TSI 3936）、扫描电子显微镜（日立S4800）、能谱仪、ZetaPlus（布鲁克海文仪器公司）、电感耦合等离子体质谱仪、X射线光电子能谱仪及蓝电CT2001A电池测试仪。材料包括硝酸银、氢氟酸、过氧化氢、硝酸、丙酮、乙醇、炭黑、海藻酸钠粘合剂、铜箔、金属锂、六氟磷酸锂电解液及Celgard-2320隔膜。 实验流程与操作步骤：

4. 实验流程与操作步骤：对硅晶圆进行清洗，在HF+硝酸银和HF+过氧化氢溶液中蚀刻，用硝酸清洗去除银颗粒，通过超声和离心收集硅纳米线。使用UCPC和SMPS原位测量空气颗粒，并通过SEM/EDS表征；水性颗粒通过ZetaPlus、ICP-MS、SEM和XPS非原位测量。制备锂离子电池纽扣电池并进行电化学测试。

5：数据分析方法：

使用SMPS的统计计算（如几何平均数）及SEM、EDS、ICP-MS和XPS分析的软件工具处理数据。