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在厘米级硅基底上使用聚二甲基硅氧烷印章制备具有亚5纳米周期性的单轴排列二氧化硅纳米沟槽

DOI:10.1021/acsnano.8b07714 期刊:ACS Nano 出版年份:2019 更新时间:2025-09-23 15:23:52
摘要: 制备特征尺寸小于5纳米的大面积定向纳米图案对开发纳米器件至关重要。通过分子自组装制备的高度有序纳米结构,在亚5纳米图案化技术方面展现出巨大潜力。此前我们曾报道利用圆柱形表面活性剂胶束最外层表面为模板,在硅基底上制备出周期小于5纳米的二氧化硅纳米沟槽,但尚未实现整个基底表面的纳米沟槽单轴定向排列。本研究采用带有条纹图案的聚二甲基硅氧烷(PDMS)印章,在2×2厘米的硅基底整个表面制备出单轴定向排列的二氧化硅纳米沟槽。该PDMS印章并非如软纳米压印技术那样直接接触基底,而是置于预涂覆在基底表面的表面活性剂薄膜上方。随后使基底暴露于水蒸气环境,期间圆柱形胶束沿导向方向定向排列。接着通过暴露于氨气-水蒸气混合气体,使面向基底的定向胶束最外层表面被可溶性硅酸盐物种复制。通过扫描电子显微镜观测和小角X射线掠入射散射分析,证实了在厘米级基底整个表面形成了单轴定向排列的纳米沟槽。由此我们提供了一种制备超精细间距单轴定向纳米图案的简易大面积制备方法。
作者: Keiya Hirota,Shintaro Hara,Hiroaki Wada,Atsushi Shimojima,Kazuyuki Kuroda
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研究概述 实验方案 设备清单

使用PDMS印章在厘米级硅基底整个表面实现周期小于5纳米的二氧化硅纳米沟槽单轴排列,克服了以往在排列控制方面的局限。

使用PDMS印章成功在整个厘米级硅基底上制备了周期小于5纳米的单轴取向二氧化硅纳米沟槽。该方法简单、可扩展且无需复杂蚀刻工艺,在纳米器件和表面功能化应用方面具有潜力。未来工作应聚焦于提升沟槽直线度并拓展至其他基底材料。

纳米沟槽具有较小的深宽比和弯曲的斜坡轮廓,并非完全笔直,目前只能在硅基底上形成。灰尘和划痕等缺陷会干扰对准,胶束的动态变形可能导致瑕疵。该方法仅限于特定表面活性剂,针对其他材料需进行优化。

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