修车大队一品楼qm论坛51一品茶楼论坛,栖凤楼品茶全国楼凤app软件 ,栖凤阁全国论坛入口,广州百花丛bhc论坛杭州百花坊妃子阁

[IEEE 2018年国际半导体工艺与器件模拟会议（SISPAD） - 美国德克萨斯州奥斯汀市（2018.9.24-2018.9.26）] 2018年国际半导体工艺与器件模拟会议（SISPAD） - 掺杂剂扩散对硅纳米线场效应晶体管中随机掺杂波动的影响：一项量子输运研究

DOI：10.1109/SISPAD.2018.8551697 出版年份：2018 更新时间：2025-09-23 15:22:29
摘要： 在这项工作中，我们通过3×3 nm2硅纳米线（NW）场效应晶体管（FET）的统计量子输运模拟，研究掺杂扩散对随机掺杂涨落的影响。首先采用有效质量哈密顿量进行输运计算，其中限制质量和输运有效质量源自紧束缚能带结构计算。通过高斯掺杂分布模型描述掺杂剂沿输运方向从源/漏区向沟道区的扩散过程。为生成随机离散掺杂原子，我们采用考虑纳米线三维原子排布的拒绝采样方案。统计模拟结果表明：扩散至沟道区的掺杂原子会导致硅纳米线场效应晶体管出现显著的变异性问题。
作者： Jaehyun Lee，Salim Berrada，Hamilton Carrillo-Nunez，Cristina Medina-Bailon，Fikru Adamu-Lema，Vihar P. Georgiev，Asen Asenov
AI智能分析
纠错
研究概述 实验方案 设备清单

研究目的

采用统计量子输运模拟研究掺杂剂扩散对硅纳米线场效应晶体管（FET）中随机掺杂涨落的影响。

研究成果

统计量子输运模拟表明，掺杂剂向沟道区域的扩散会显著增加硅纳米线场效应晶体管（Si NW FET）的性能波动性，尤其体现在关态电流和阈值电压方面。随着扩散长度的增加（通过高斯掺杂剖面中更高的标准差进行建模），成品率急剧下降——当无扩散时（σ=0.0 nm）总成品率为65%，而发生显著扩散时（σ=2.0 nm）成品率骤降至仅2%。这凸显了制造过程中控制热预算以降低波动性问题的重要性。

研究不足

该研究基于模拟，未进行实验验证。所采用的模型（如有效质量近似和高斯掺杂分布）可能存在简化，未能涵盖现实中的所有复杂因素。具体器件尺寸和参数可能限制其推广至其他纳米线场效应晶体管设计。生成随机离散掺杂的筛选方案假设服从泊松分布，这可能无法完全反映实际制造器件中的掺杂分布情况。

SCI高频之选
查看全部>
  • AQ6370D
    AQ6370D
    463

    型号：AQ6370D

    厂家：Yokogawa

    智能分析： Yokogawa AQ6370D是一款性能卓越的光谱分析仪，适用于光通信领域以及光放大器（EDFA）的测量和评估。其高波长分辨率、精准度和宽动态范围使其成为实验室和工业环境中的理想选择。虽然设备体积较大且预热时间较长，但其丰富的接口和出色的显示屏设计弥补了这些不足，整体是一款值得推荐的光谱分析仪。
    获取实验方案
  • ZEISS EVO Family

    型号：ZEISS EVO Family

    厂家：Carl Zeiss Microscopy GmbH

    智能分析： ZEISS EVO系列是一款高性能?？榛璧缱酉晕⒕?，适用于材料科学、生命科学及工业质量控制等领域。其先进的技术特性包括高分辨率、广泛加速电压范围和集成EDS系统。该产品操作直观，支持多用户环境，适合科学研究和工业应用。然而，价格信息缺失以及潜在的维护成本可能是其需要注意的方面。总体而言，ZEISS EVO系列表现优秀，值得推荐给专业用户。
    获取实验方案
  • Crossbeam Family

    型号：Crossbeam Family350/550

    厂家：Carl Zeiss Microscopy GmbH

    智能分析： ZEISS Crossbeam系列是蔡司公司推出的一款高端光电分析设备，结合了场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）和聚焦离子束（FIB）的功能，适用于材料科学、纳米技术和半导体行业等多个领域。其高分辨率成像能力和自动化样品制备功能使其成为高通量分析的理想选择。此外，该设备支持多种检测器，具备强大的多功能性，是高精度研究和工业应用的利器。然而，由于其高端定位，设备成本较高且操作需要专业技能。总体而言，该设备表现卓越，为科学研究和工业应用提供了先进的解决方案。
    获取实验方案
  • Axio Observer

    型号：Axio Observer

    厂家：Carl Zeiss Microscopy GmbH

    智能分析： Axio Observer是一款专为金相学研究设计的倒置显微镜系统，以其高效的设计和蔡司知名的光学技术为特色。它能够快速、灵活地分析大量样品，并支持自动化操作，适用于多种应用场景，包括晶粒尺寸分析、非金属夹杂物检测等。然而，其重量较大且光源寿命较短，可能对使用者提出了额外的维护和空间管理需求。总体而言，这款产品在性能和可靠性方面表现出色，特别适合专业实验室使用。
    获取实验方案
  • ZEISS LSM 990 Spectral Multiplex

    型号：ZEISS LSM 990 Spectral Multiplex

    厂家：Carl Zeiss Microscopy GmbH

    智能分析： ZEISS LSM 990 Spectral Multiplex是一款定位于高端科研机构的光谱成像系统，具有卓越的光谱分辨率和自动化功能，适用于复杂的生物、医学及材料科学实验。其高效的荧光标签分离能力和多功能自动化设计为用户提供了强大的实验支持。然而，高昂的价格和一定的学习曲线可能对中小型实验室构成挑战。总体而言，这是一款性能优越、适应性强的高端实验设备。
    获取实验方案
  • ZEISS Sigma 300 with RISE

    型号：ZEISS Sigma 300 with RISE

    厂家：Carl Zeiss Microscopy GmbH

    智能分析： ZEISS Sigma 300 with RISE是蔡司公司推出的一款高端光谱分析仪，集成了拉曼成像和扫描电子显微镜技术，能够提供高质量的化学和结构分析。其功能强大，支持多领域应用，但设备价格较高且操作学习曲线可能较陡。适用于科研机构和高端实验室，是材料科学和生命科学领域的理想选择。
    获取实验方案
立即咨询

加载中....

论文纠错

您正在对论文“[IEEE 2018年国际半导体工艺与器件模拟会议（SISPAD） - 美国德克萨斯州奥斯汀市（2018.9.24-2018.9.26）] 2018年国际半导体工艺与器件模拟会议（SISPAD） - 掺杂剂扩散对硅纳米线场效应晶体管中随机掺杂波动的影响：一项量子输运研究”进行纠错

纠错内容

联系方式（选填）

设备询价

称呼

电话

+86

单位名称

用途

期望交货周期

产品预约

称呼

电话

+86

单位名称

用途

期望交货周期