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[IEEE 2018年IEEE传感器会议 - 印度新德里 (2018.10.28-2018.10.31)] 2018年IEEE传感器会议 - 单晶金属氧化物电阻式气体传感器的进展与展望

DOI：10.1109/ICSENS.2018.8589734 出版年份：2018 更新时间：2025-09-23 06:15:11
摘要： 本文综述了单晶金属氧化物纳米材料的最新合成成果及其在电阻式气体传感器件中的应用。重点探讨了此类纳米材料在多种换能平台（从传统陶瓷到硅基微机电系统或柔性聚合物）中的集成方案。随后讨论了提升选择性的一些策略，并进一步阐述了开发先进操作技术以实现更稳定、更快速气体响应的方法。最后指出了若干尚待研究的方向。
作者： E. Llobet，E. Navarrete，F. E. Annanouch，M. Alvarado，E. González，J.L. Ramírez，A. Romero，X. Vilanova，M. Domínguez-Pumar，S. Vallejos，I. Gràcia
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研究概述 实验方案 设备清单

研究目的

回顾单晶金属氧化物纳米材料在电阻式气体传感中的合成与集成最新进展，包括选择性策略和先进操作技术。

研究成果

AACVD工艺能有效制备具有增强气体传感性能的单晶金属氧化物纳米材料。通过金属氧化物纳米颗粒功能化处理，可提升对特定气体的灵敏度与选择性。采用紫外光激发和表面电位控制等先进操作技术，能实现更低功耗、更快速响应及潜在的稳定性提升。柔性传感器展现出与刚性基底相当的性能，表明其具备实际应用可行性。未来工作应聚焦于优化这些技术以获得更优的传感器性能。

研究不足

该论文指出，需要更多实验来更好地评估紫外激发对基线电阻的稳定作用，并进一步研究实现更稳定、更快且更具选择性传感器的高级操作技术。合成方法在实现均匀纳米颗粒负载方面可能存在限制。

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