1：实验设计与方法选择：

本研究通过在双层减反射涂层（SiNx/SiO2）中嵌入铟纳米颗粒（In NPs）制备了纹理化硅太阳能电池。采用拉曼散射、吸收光谱、光学反射率和外量子效率（EQE）对等离子体效应进行表征。

2：样本选择与数据来源：

使用石英衬底和硼掺杂晶体硅晶圆。通过沉积3.8、5和7纳米厚度的铟薄膜并进行快速热退火形成In NPs。

3：5和7纳米厚度的铟薄膜并进行快速热退火形成In NPs。 实验设备与材料清单：

3. 实验设备与材料清单：设备包括用于沉积的电子束蒸发系统、快速热退火腔室、拉曼光谱仪（UniRAM）、微型光谱仪（USB4000-VIS-NIR）、扫描电子显微镜（日立S-4700）、光学反射率系统（Lambda 35）、EQE测量系统（Enli科技）以及太阳模拟器（XES-151S）。材料包括铟、SiO2、SiNx和硅晶圆。

4：0）、光学反射率系统（Lambda 35）、EQE测量系统（Enli科技）以及太阳模拟器（XES-151S）。材料包括铟、SiOSiNx和硅晶圆。 实验流程与操作步骤：

4. 实验流程与操作步骤：制备过程包括清洗晶圆、表面纹理化、沉积各层、退火处理及光学电学性能测量。在0°至75°的不同入射角下进行测量。

5：数据分析方法：

采用Image-J软件进行纳米颗粒表征，通过特定公式计算反射率和EQE的加权平均值。