1：实验设计与方法选择：

本研究采用COMSOL Multiphysics 5.3a仿真软件对真空条件下的夹持式圆形石墨烯薄膜进行建模。通过耦合"固体力学"?？椋ㄓ糜诒湫未校┖?#34;固体传热"模块（用于热效应分析），研究光热驱动与共振特性。采用"Swept mesh"进行厚度方向上的单元分布，包含"稳态研究"和"特征频率研究"以确定共振行为。

2：3a仿真软件对真空条件下的夹持式圆形石墨烯薄膜进行建模。通过耦合"固体力学"模块（用于变形传感）和"固体传热"?？椋ㄓ糜谌刃вΨ治觯?，研究光热驱动与共振特性。采用"Swept mesh"进行厚度方向上的单元分布，包含"稳态研究"和"特征频率研究"以确定共振行为。 样本选择与数据来源：

2. 样本选择与数据来源：模拟结构为夹持式圆形石墨烯薄膜，参数包括直径（50微米）、厚度（10层时为3.35纳米）、密度（2208千克/立方米）、杨氏模量（1.1太帕）、泊松比（0.41）和热导率（5300瓦/(米·开尔文)）。通过半径（10-30微米）、厚度（0.335-3.35纳米）、预应力（103至101?帕）、激光输出功率（1-10毫瓦）和光斑半径（5-25微米）的参数扫描生成数据。

3：35纳米）、密度（2208千克/立方米）、杨氏模量（1太帕）、泊松比（41）和热导率（5300瓦/(米·开尔文)）。通过半径（10-30微米）、厚度（335-35纳米）、预应力（103至101?帕）、激光输出功率（1-10毫瓦）和光斑半径（5-25微米）的参数扫描生成数据。 实验设备与材料清单：

3. 实验设备与材料清单：装置包含光纤法布里-珀罗谐振探针（带石墨烯振膜）、分布式反馈(DFB)激光器S（波长1550.12纳米）、电光调制器(EOM)、锁相放大器(HL2FI)、掺铒光纤放大器(EDFA)、另一台DFB激光器R（波长1551.72纳米）、2×1耦合器、环形器、光学滤波器和带宽200兆赫兹/转换增益1.4×10?伏/瓦的光电探测器(PD)。使用光谱分析仪(AQ6370C，横河电机)确认腔长。

4：12纳米）、电光调制器(EOM)、锁相放大器(HL2FI)、掺铒光纤放大器(EDFA)、另一台DFB激光器R（波长72纳米）、2×1耦合器、环形器、光学滤波器和带宽200兆赫兹/转换增益4×10?伏/瓦的光电探测器(PD)。使用光谱分析仪(AQ6370C，横河电机)确认腔长。 实验流程与操作步骤：

4. 实验流程与操作步骤：通过EOM调制激光器S对石墨烯薄膜施加热激励，经放大的信号通过2×1耦合器耦合后由环形器传输至F-P腔。激光器R的检测信号经滤波后通过PD送入锁相放大器进行共振信号处理。仿真中基于吸收热量方程设置高斯分布热源，分析不同参数下的温度与共振频率变化。

5：数据分析方法：

利用COMSOL仿真输出数据进行曲线拟合（如线性/多项式拟合），评估参数间关系（如温度-半径、频率-预应力）。通过计算相关系数和相对误差评估拟合质量。