研究目的
利用VO2纳米膜通过外延剥离ZnO牺牲层，制备具有长期稳定性和低功耗的高度灵敏、柔性触觉传感器。
研究成果
该研究成功展示了通过外延剥离技术制备晶圆级VO2纳米膜，实现了高灵敏度（应变系数高达≈1100）、优异机械耐久性（10,000次弯曲循环）和低功耗（皮瓦级）。这些传感器可实现高保真健康监测（如桡动脉脉搏检测），并为柔性电子器件中可扩展的超灵敏触觉传感铺平了道路。
研究不足
该研究未明确指出局限性，但潜在方面包括ELO工艺的复杂性、工业生产中可能存在的可扩展性问题，以及传感器小型化与其它组件集成方面需进一步优化。
1：实验设计与方法选择：
本研究采用氧化锌(ZnO)牺牲层的外延剥离(ELO)技术制备柔性VO2纳米膜。具体方法包括：通过射频磁控溅射沉积薄膜、盐酸湿法刻蚀释放薄膜，并转移至PET等柔性基底。该方法旨在突破传统应变工程的技术限制，实现VO2薄膜的大规模无损转移。
2：样品与数据来源：
在Al2O3(0001)衬底上外延生长80nm VO2薄膜和100nm ZnO牺牲层。样品在转移前后均进行结构与电学性能表征。
3：实验设备与材料清单：
设备包含射频磁控溅射系统、旋涂机、盐酸溶液、甲苯、黑蜡、PET基底、金电极热蒸镀仪、X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、透射电镜(TEM)、X射线光电子能谱仪(XPS)、Keithley-4200半导体测试系统、Lakeshore温度控制器及自主设计弯曲台。材料包括ZnO和V2O5溅射靶材、Al2O3晶圆及金电极材料。
4：实验流程与操作步骤：
包括：a) 通过射频溅射在Al2O3上外延生长ZnO和VO2；b) 旋涂黑蜡作为支撑层；c) 盐酸刻蚀ZnO释放VO2膜；d) 转移膜至PET基底；e) 甲苯去除蜡层；f) 制备Au电极触觉传感器；g) 系统表征（XRD/TEM/XPS晶体结构、I-V曲线/电阻-温度/应变响应电学特性、弯曲测试/脉冲监测综合性能）。
5：数据分析方法：
通过应变-电阻关系推导应变灵敏因子，对脉冲波形参数(ΔtDVP, AIr, k)进行统计分析，采用高斯拟合描述转变特性。未指定具体软件工具，测量使用Keithley-4200等专业仪器完成。
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