Lithography and Etchinga??Free Microfabrication of Silicon Carbide on Insulator using Direct UV Laser Ablationa??

DOI：10.1002/adem.201901173 期刊：Advanced Engineering Materials 出版年份：2020 更新时间：2025-09-19 17:13:59

摘要： This work presents a lithography and etching-free micro fabrication of SiC on insulator-based MEMS devices, employing a direct laser ablation. SiC micro-scale structures can be formed in one-step patterning with a remarkably fast speed, enabling rapid prototyping of a multifunctional SiC platform of temperature sensors, strain sensors, and micro heaters.

关键词： silicon carbide force sensor micro-heater temperature sensor laser ablation

作者： Tuan-Khoa Nguyen，Hoang-Phuong Phan，Karen M. Dowling，Ananth Saran Yalamarthy，Toan Dinh，Vivekananthan Balakrishnan，Tanya Liu，Caitlin A. Chapin，Quoc-Dung Truong，Van Thanh Dau，Kenneth E. Goodson，Debbie G. Senesky，Dzung Viet Dao，Nam-Trung Nguyen

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研究概述实验方案设备清单

研究目的

Investigating the microfabrication of silicon carbide on insulator using direct UV laser ablation for MEMS devices.

研究成果

The direct laser ablation technique enables rapid prototyping of SiC-based MEMS devices, offering a cost-effective and time-saving alternative to traditional fabrication methods.

研究不足

The technique may have limitations in achieving the same precision as conventional lithography and etching processes for very fine features.

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