衬底温度对脉冲注射式金属有机化学气相沉积法制备的MoO2薄膜结构和形貌特性的影响

摘要： 钼氧化物因其优异的光学、电子和催化性能而具有重要的技术价值。本研究采用垂直式金属有机化学气相沉积反应器（脉冲注入模式），在不同衬底温度下于硅晶片和不锈钢基板上沉积二氧化钼（MoO2）薄膜。以六羰基钼粉末溶于甲苯溶液作为前驱体，通过通常用于内燃机燃油喷射的高效脉冲注入系统，由计算机控制注射器按设定脉冲间隔（喷射频率）向反应腔精准输送液态前驱体。该液态前驱体体系与实验参数的配合创造了热力学有利条件，使固体薄膜均匀沉积于整个衬底表面。通过X射线衍射、拉曼散射光谱和扫描电子显微镜对MoO2薄膜的结构与形貌进行了表征，并对比研究了不锈钢基板与MoO2薄膜在析氢反应中的催化活性差异。