用于热薄膜沉积过程诊断的光学可及?？榛从ζ鞯纳杓朴朐诵?

摘要： 本文描述了一种设计简单、光学可视的?？榛从ζ鳎糜谔骄咳缺∧こ粱蹋ㄈ缭硬愠粱ひ誂LD和化学气相沉积CVD）。该反应器标准占地面积为225平方厘米，质量约6.6千克，体积小巧，可便捷作为光学系统?？樽榧褂谩Ｆ渖杓平峁辜虻?，便于制造且成本相对较低。通过两项红外吸收测量来表征反应器运行特性，从而确定四(二甲氨基)钛和水这两种典型ALD前驱体在ALD常用压力与流量条件下的排空时间。