通过暴露于氢气气体控制WO3单晶微谐振器中应变的大范围可调性

摘要： 应变工程是操控材料物理状态、调控其电子特性并实现关键功能的最有效方法之一。由于量子材料具有由竞争基态产生的丰富相图，它们是实现按需材料控制的理想平台，可用于开发自适应电子器件或神经形态计算等新兴技术。最新研究表明复杂氧化物能为纳米力学领域带来前所未有的功能，但迄今仍缺乏精确控制材料应力状态的手段。本研究通过催化加氢控制的应变工程，展示了单晶三氧化钨应力状态的宽幅可逆调控。独立超薄结构中氢的渐进掺杂会显著改变其机械共振频率并引发静态形变。这些结果表明氢掺杂为基于材料控制的纳米器件机械性能可逆调控提供了新范式。