具有眼形氧化孔径的偏振控制单横模垂直腔面发射激光器

摘要： 我们展示了一种具有眼形氧化孔径的单横模单偏振垂直腔面发射激光器（VCSEL），该孔径通过增强型各向异性氧化氧化层获得。对于孔径尺寸为2×4.6和3×6平方微米的VCSEL，其正交偏振抑制比（OPSR）分别为22分贝和19分贝。当输出功率为0.5毫瓦时，孔径尺寸为2×4.6平方微米的VCSEL还实现了超过25分贝的单模抑制比（SMSR）。我们认为，这种实现VCSEL模式与偏振控制的方法在未来应用中具有巨大潜力。?2018日本应用物理学会