Ni60Ti40薄膜脉冲激光沉积过程中的原位等离子体监测

摘要： 研究了不同沉积条件下脉冲激光沉积制备的Ni60Ti40形状记忆薄膜的性能。通过空间-时间分辨光学发射光谱和ICCD高速相机成像实现了原位等离子体监测。采用SEM、AFM、EDS和XRD设备对薄膜进行了结构和化学分析。研究了沉积参数对薄膜化学成分的影响。剥离层在DSC中显示出与靶材特性不同的固态相变区间。采用分形模型通过多种不可微函数描述激光产生等离子体的动力学行为。通过流体动力学类型机制，时空同胚变换与烧蚀等离子体的整体动力学相关联。通过特殊SL(2R)不变性实现同胚变换的空间同步性，意味着可通过Riccati型方程描述等离子体动力学，并建立与光学发射光谱测量结果的关联。