采用聚焦离子束铣削工艺通过纳米压印对软材料进行表面纳米图案化，实现50%应变可调色传感器

摘要： 我们设计并制造了具有结构色的表面纳米图案化可拉伸应变传感器。通过聚焦离子束（FIB）刻蚀工艺，以硅片为模具制备出亚微米衍射图案，并借助纳米压印技术将该模具图案转移至聚二甲基硅氧烷等软质弹性体材料上。我们确定了决定传感器颜色调节性能的表面纳米图案几何结构。将该传感器拉伸（应变）至原长度的50%而不发生断裂，以此校准颜色随应变的变化关系。通过颜色变化即可可视化软体机器人大幅形变区域的应变情况，无需进行任何电学测量。