修车大队一品楼qm论坛51一品茶楼论坛,栖凤楼品茶全国楼凤app软件 ,栖凤阁全国论坛入口,广州百花丛bhc论坛杭州百花坊妃子阁

oe1(光电查) - 科学论文

2 条数据
?? 中文（中国） ▾

  • 采用感应耦合等离子体(ICP)优化准垂直GaN肖特基势垒二极管(SBD)的台面刻蚀工艺及器件特性

    摘要： 本研究全面探究了采用感应耦合等离子体（ICP）刻蚀技术对准垂直氮化镓（GaN）肖特基势垒二极管（SBD）台面刻蚀的优化方案，包括刻蚀掩模选择、ICP功率、射频（RF）功率、混合气体比例、流量及腔室压力等参数。特别地，通过结合ICP干法刻蚀与四甲基氢氧化铵（TMAH）湿法处理，消除了台面侧壁底部拐角处的微沟槽。最终利用优化后的刻蚀工艺实现了高各向异性的台面侧壁形貌，并制备出准垂直GaN SBD，在-10V反向偏压下获得10?? A/cm2的低反向电流密度。

    关键词： 准垂直、电感耦合等离子体（ICP）、氮化镓（GaN）、干法刻蚀、侧壁轮廓、台面结构、肖特基势垒二极管（SBD）

    更新于2025-09-19 17:13:59

  • 多结太阳能电池制备过程中分离台面结构的湿法化学蚀刻方法开发

    摘要： 已研究了基于GaInP/GaInAs/Ge异质结构的多结太阳能电池台面结构的生长后处理工艺。探讨了湿法化学蚀刻和电化学蚀刻方法，并提出了一种形成分离台面结构的技术，该技术能改善不同层组分配比的异质结构台面侧壁表面质量和形貌。

    关键词： 多结太阳能电池、蚀刻、台面结构、异质结构

    更新于2025-09-16 10:30:52