原子层沉积和化学气相沉积在钙钛矿太阳能电池中的应用

摘要： 金属卤化物钙钛矿太阳能电池（PSCs）在过去十年间迅速发展，已成为即将实现商业化的光伏技术。在此过程中，人们探索了多种制备策略，旨在同时优化器件效率、稳定性和可扩展性。化学气相沉积（CVD）和原子层沉积（ALD）已被证明是制备PSCs各组件的有效工具。本文综述了CVD和ALD在电荷传输层、钝化层、吸光材料、封装层及电极的沉积与改性中的应用，阐述了这些气相沉积技术在先进多结太阳能电池器件中的运用，并基于文献报道的原位表征结果，讨论了金属卤化物钙钛矿材料在CVD和ALD条件下的稳定性。文章最后展望了未来可开展的CVD和ALD研究方向，以进一步推动PSCs在新兴太阳能光伏市场中的应用。