利用衍射方法开发激光纹理金属表面的监测策略

摘要： 全球范围内当前的研究状况一致认为，微纳纹理表面在表面功能化方面具有强大影响力。要准确表征所制造形貌的表观质量或均匀性，仍需付出重大努力。本研究提出了一种通过光学方法间接评估直接激光干涉图案化（DLIP）制造表面结构质量与形貌的技术。为验证设计的光学配置方案，采用双光束DLIP系统在1064nm波长下于不锈钢表面制备了重复间距4.9微米的线状图案。根据脉冲重叠度和扫描间距参数差异，成功制备出呈现非均匀与均匀特性的单结构及复合图案几何形态。该光学系统能有效区分不同图案几何形态，尤其对单尺度形貌（高均匀性）的识别效果显著。此外，通过共聚焦显微镜测量了制备结构，并将获得的三维形貌与光学图像记录进行了关联分析。