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非水解溶胶-凝胶法合成WO3多孔膜的合成条件对其微观结构及NO2传感性能的影响
摘要: 通过无机路线采用非水解溶胶-凝胶法制备了纳米结构三氧化钨多孔薄膜,其中乙醇和聚乙二醇分别作为氧供体和结构导向试剂。利用X射线衍射、场发射扫描电子显微镜、透射电子显微镜和气体传感测量技术,系统研究了前驱体溶液老化时间、聚乙二醇含量及煅烧温度对WO3薄膜结构、形貌及NO2传感性能的影响。结果表明:通过调控合成参数可获得系列不同微观结构的WO3薄膜,并确定了适用于NO2传感的WO3薄膜最佳合成条件。
关键词: 二氧化氮,非水解溶胶-凝胶法,三氧化钨,气体传感,多孔薄膜
更新于2025-09-23 15:23:52
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氧空位调控的多孔SnO?薄膜用于室温下三甲胺的高灵敏检测
摘要: 在室温(RT)下检测挥发性有机化合物(VOCs)目前仍是金属氧化物半导体(MOS)气体传感器面临的挑战。本文首次报道了通过氧空位缺陷工程利用多孔SnO?薄膜实现室温VOCs检测。采用胶体模板法制备的三维有序SnO?薄膜中的氧空位可通过不同温度的热退火轻松调控。研究发现氧空位对室温传感性能起关键作用,成功使传感器以超高响应度(如对10 ppm三乙胺(TEA)的响应达150.5)高选择性地检测TEA。此外,基于富氧空位SnO?薄膜的传感器具有快速响应/恢复特性(53秒和120秒),工作温度升至120°C时可进一步缩短至10秒和36秒。值得注意的是,在室温下获得了110 ppb的低检测限,综合性能超越多数现有室温TEA检测报道。优异的传感性能归因于富含氧空位的多孔结构能增强分子吸附。这种氧空位工程策略与多孔MOS薄膜传感层的芯片集成制备技术,为开发高性能室温传感器展现了巨大潜力。
关键词: 氧空位、多孔薄膜、气体传感器、二氧化锡、室温
更新于2025-09-23 15:19:57