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oe1(光电查) - 科学论文

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  • 采用乙醇中电火花放电法制备的纳米碳胶体用于MPACVD合成多晶金刚石薄膜的基片接种

    摘要： 我们通过电火花放电法制备了一种纳米碳胶体，作为微波等离子体辅助化学气相沉积（MPACVD）合成微米和纳米晶金刚石薄膜及独立式微晶金刚石板材的基底籽晶。该胶体由特制装置通过在乙醇中脉冲电火花放电产生。采用光学显微镜、扫描电子显微镜（SEM）、透射电子显微镜（TEM）和拉曼光谱对生长出的纳米晶金刚石薄膜和多晶板材进行了表征分析。

    关键词： 微波等离子体化学气相沉积、电火花放电、纳米碳胶体、多晶金刚石薄膜

    更新于2025-09-10 09:29:36

  • 具有定制微/纳结构/掺杂的多晶金刚石薄膜，用于新型大面积薄膜基金刚石电子器件

    摘要： 本文描述了将超纳米晶金刚石（UNCD）转变为微晶金刚石（MCD）薄膜的两种关键电学特性（电阻率和载流子类型）的工艺开发过程。结果表明，所研究的多晶金刚石薄膜的电学特性取决于晶粒尺寸、等离子体处理的晶界网络界面及外部薄膜表面——通过掺入氢、氟或氮可调控载流子类型，从而调节电学特性。探索通过调控晶粒尺寸、表面化学性质以及向薄膜晶界和外部表面掺入氮/氟来改变多晶金刚石薄膜电阻率的可行性，或能推动这些金刚石薄膜作为有源层或散热层应用于微/纳电子器件。由于多晶金刚石薄膜可在当前硅基微/纳电子器件制造所用的300毫米直径硅晶圆上实现极高均匀性生长，本工作为新型金刚石基电子器件的工业化工艺开辟了路径。

    关键词： 氮掺杂、金刚石基电子学、电学性能、等离子体处理、氟掺杂、晶粒尺寸、多晶金刚石薄膜

    更新于2025-09-10 09:29:36