大轴向范围频域光学低相干干涉测量技术

摘要： 本文提出了一种新的实验装置，将频域低相干干涉测量法（FD-LCI）的测量范围从3毫米扩展至2厘米。通过增加横向扫描，FD-LCI可进一步发展为频域光学相干断层扫描技术（FD-OCT）。这种新型简易装置仅需在典型FD-LCI设置的光谱仪前附加一个额外干涉仪。该配置能克服传统技术的动态范围限制，利用附加干涉仪作为调谐系统，实现对光谱仪检测范围外样本光程差的测量。此外，这种调谐可显著减小衰减效应的影响。新系统的精度由FD-LCI与调谐微米位移器的精度叠加获得，在本实验装置中该值为20微米。