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oe1(光电查) - 科学论文

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  • Al?O?等离子体增强原子层沉积过程中光学等离子体监测分析

    摘要： 本文提出了一种用于纳米级水蒸气阻隔薄膜的等离子体增强原子层沉积（PEALD）工艺中的非侵入式光学等离子体监测方法。任何设备故障或单个组件状态的偏差都可能轻易影响工艺结果。本研究采用Al2O3沉积工艺作为测试平台，并展示了高速光学等离子体监测技术。结果表明，光学等离子体监测不仅可用于实时测量等离子体脉冲，还能检测等离子体状态的任何变化，从而推断出等离子体动力学特性，为纳米级薄膜沉积工艺中的先进过程控制提供依据。

    关键词： 等离子体增强原子层沉积（PEALD）、工艺监测、等离子体诊断、故障检测

    更新于2025-09-23 15:22:29

  • 热激光分离技术的进展：无切缝激光切割工艺中的过程监测以确保高产量

    摘要： 热激光分离（TLS）是一种无烧蚀、因此无切缝的激光切割技术。这项新型划片技术用于分离半导体晶圆上的微电子器件。为拓展TLS方法在更小芯片和新材料方面的应用，同时实现先进的过程监测，我们开发了一种新型非接触式TLS过程监测测量方法。该方法基于近红外（NIR）激光加热半导体晶圆，并通过非接触式温度测量分析热扩散产生的后续温度梯度。由于TLS裂纹对热流具有阻隔效应，因此可据此检测TLS裂纹。本文展示了该方法的可行性，并报告了样品尺寸、与TLS裂纹的距离以及激光设置等参数对测量的影响。

    关键词： 无切缝激光切割技术、切割检测、激光划片、热激光分离、工艺监测

    更新于2025-09-11 14:15:04