微型平面传感器开发

摘要： 本文描述了利用电容测量技术开发平面传感器微型装置的过程。该项目研究了集成在聚二甲基硅氧烷（PDMS）腔室上的微型化平面传感器的可行性与特性。由于成本低廉的优势，采用印刷电路板（PCB）技术制作了16个平面电极阵列，每个电极尺寸为4毫米×2毫米（长×宽）。传感区域的测量腔室使用PDMS材料制成。通过半固化PDMS将PDMS腔室粘合在PCB上，形成用于样品加载的圆形传感区域。PDMS腔室的模具采用AutoCAD 2010设计，并通过3D打印机制作。以水为样品进行平面电极的电容测量，并通过理论计算进行验证。实验结果表明，被测电极间距与电容值成反比。测量获得的电容范围在10皮法至20皮法之间。结果显示，该平面传感器能够在微型化平台上提供电容测量，且实测电容值与理论计算结果高度吻合。