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450 GHz微机械滤波器，具有1%的相对带宽和超过700的无载Q值
摘要： 本文提出了两种中心频率为450GHz的硅微加工窄带四阶波导滤波器方案，这是首次在任何技术中实现分数带宽低至1%的亚毫米波窄带滤波器。两种滤波器设计均高度紧凑且采用轴向端口布局，可直接安装在两个标准波导法兰之间，无需任何分体式过渡块。第一种滤波器方案包含两个圆形TM110双模腔体，通过垂直堆叠的两层结构布置耦合槽和扰动结构；第二种方案则由四个TE101串联谐振器构成无交叉耦合的折叠式双层拓扑结构。原型器件采用绝缘体上硅晶圆的深硅刻蚀工艺（表面粗糙度低）制造。实测数据显示：双模圆腔滤波器的两个原型器件通带插入损耗分别为2.3dB和2.6dB；折叠式滤波器的三个原型器件对应值为2.6dB。提取的谐振器无载品质因数分别为786±7和703±13，是目前任何技术中报道的亚毫米波滤波器最佳性能。这些滤波器尺寸极为紧凑——双模方案和折叠方案的占用面积分别仅为0.53mm2和0.55mm2，波导法兰间距仅0.9mm。
关键词： 微加工技术、微制造、波导滤波器、全极点滤波器、双模滤波器
更新于2025-09-23 15:21:01
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[2019年IEEE第二届电力与能源应用国际会议(ICPEA) - 新加坡，新加坡（2019年4月27日-2019年4月30日）] 2019年IEEE第二届电力与能源应用国际会议(ICPEA) - 光伏系统在波动太阳辐照度下频率9-150kHz干扰特性研究
摘要： 氮化镓（GaN）是一种宽禁带半导体材料，是继硅之后半导体行业最受青睐的材料。推动这一趋势的主要领域包括发光二极管、微波技术，以及近年来的功率电子器件。新兴研究方向还包括利用GaN独特性质的自旋电子学和纳米带晶体管。GaN的电子迁移率与硅相当，但其禁带宽度是硅的三倍，这使其成为高功率应用和高温工况下的理想材料。通过形成具有二维电子气现象的薄层AlGaN/GaN异质结构，可制备出具有高约翰逊优值的高电子迁移率晶体管。GaN研究的另一个尚未充分探索的有趣方向是基于GaN的微机械器件或GaN微机电系统（MEMS）。要充分释放GaN潜力并实现全GaN先进集成电路，必须将无源器件（如谐振器和滤波器）、传感器（如温度和气体传感器）以及其他超越摩尔定律的功能器件与GaN有源电子器件进行协同集成。因此，将GaN用作机械材料的研究兴趣日益增长。本文综述了GaN的机电、热学、声学和压电特性，并阐述了已报道的高性能GaN基微机电部件的工作原理，同时展望了GaN MEMS领域可能的研究方向。
关键词： 高电子迁移率晶体管、压电材料、微加工技术、微机电系统、III-V族半导体、宽禁带、谐振器
更新于2025-09-19 17:13:59
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[IEEE 2020年第八届脑机接口国际冬季会议（韩国江原道，2020年2月26日-2月28日）] 2020年第八届脑机接口国际冬季会议——用于超扫描研究的多连接单通道功能性近红外光谱系统实现
摘要： 药物递送系统用于将药物靶向特定细胞。制药领域已引入并商业化多种能降低游离药物副作用的药物载体。其中，合成生物可降解聚合物因其低毒性、可控的生物降解速率、可制造性及低成本而备受关注。本文综述了生物可降解聚合物作为药物载体的显著特性及其微制造方法，所涉及的微制造技术包括激光微加工、快速原型制作、复制成型、乳化法、微流控制备以及基于X射线光刻的方法，并对这些微制造方法的临界尺寸、特征多样性、溶剂兼容性、生产效率及工具需求进行了总结。
关键词： 聚己内酯（PCL）、激光微加工、乳化、微流控技术、聚乳酸-羟基乙酸共聚物（PLGA）、生物可降解聚合物、药物递送系统（DDS）、快速原型制作、复制成型、X射线光刻、微加工技术、药物载体
更新于2025-09-19 17:13:59
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基于集成闪耀光栅波长调制的MEMS加速度计
摘要： 本文报道了一种集成闪耀光栅作为波长调制元件的MEMS光纤加速度计。该加速度计包含V形悬臂梁、垂直对称质量块及集成闪耀光栅。通过体微加工工艺制作了加速度计样机并进行了测试。其带宽为200Hz，在±5.2g测量范围内，100Hz处的光学灵敏度为1.63nm/g，非线性度为0.06%。X轴与Y轴的交叉轴灵敏度分别为2%和4.5%。在全温区-20?C至200?C范围内，温度灵敏度为2.8pm/?C?；谏鲜鎏匦?，该MEMS加速度计可广泛应用于轨道交通和姿态航向传感等领域。
关键词： 闪耀光栅、微传感器、光纤传感器、微加工技术、加速度计、微机电系统
更新于2025-09-10 09:29:36