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oe1(光电查) - 科学论文

5 条数据
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  • [2018年IEEE传感器会议 - 印度新德里（2018.10.28-2018.10.31）] 2018年IEEE传感器会议 - 基于微悬臂梁的双模式光学生物传感器用于农业病原体检测

    摘要： 为提高作物产量、指导精准农业应用并推动更可持续的病害管理实践，开发农业病原体早期诊断传感器至关重要。这种能在感染初期检测低浓度病原体的灵敏诊断方法，可实现早期诊断并有助于挽救作物?；谖⑿哿旱纳锎衅魇谴死嘤τ玫睦硐肷璞?。本文介绍了一种用于农业病原体检测的高灵敏度双模式光学传感器的研发成果。本研究首次报道了利用微悬臂梁平台在静态和动态两种操作模式下进行农业病原体检测。通过Mecwins? SCALA超灵敏平台在液体介质中，以微摩尔浓度光学检测到了茄科劳尔氏菌抗原。

    关键词： 病原体，微悬臂梁，SCALA，农业

    更新于2025-09-23 10:11:46

  • 双级电容式微机械非制冷热探测器

    摘要： 本文提出了一种基于商用表面微加工PolyMUMPs技术的新型双电层电容式微悬臂梁热探测器。该设计方案与四种不同的单电层设计并行实施，以实现设计间的性能对比。双电层设计的每摄氏度电容变化率比单电层设计高出三倍以上，且基础电容值达到后者的两倍有余。这些改进源于双电层架构实现了100%的电极-探测器面积利用率，而单电层设计存在灵敏度与基础电容之间的固有矛盾：在给定传感器面积下，单电层设计只能通过增加双压电晶片梁数量（以延长有效长度来提升热机械灵敏度，即获得更大的每摄氏度倾斜角度）或增大电容电极面积（以降低读出集成电路要求）来优化性能，但两者不可兼得。双电层设计通过将一个结构层专用于探测器上电极，另一结构层则可独立设置任意数量的双压电晶片梁，从而有效缓解了这种热机械响应与初始电容之间的权衡矛盾。

    关键词： 双压电晶片、电容式传感器、微悬臂梁、热探测器、表面微加工、微机电系统

    更新于2025-09-16 10:30:52

  • 瑞利范围内的微型法布里-珀罗干涉仪

    摘要： 法布里-珀罗干涉仪被广泛应用于高精度光学干涉测量领域，例如引力波探测。它也用于各类激光谐振腔中充当窄带滤波器。此外，超紧凑型法布里-珀罗干涉仪还被应用于半导体激光器和光纤系统的光学谐振腔中。本研究中，我们开发了一种在光学聚焦系统瑞利范围内构建的微型法布里-珀罗干涉仪。对于这种干涉仪而言，传统上对光学平行度和镜面精度的高要求并不那么关键。该干涉仪采用镀金硅微悬臂梁（反射率92%）和介质多层平面镜（反射率85%）构建而成。激光光斑尺寸为20微米，腔长约20微米。实测精细度约为25。该器件的干涉特性与理论计算性能相符。所开发的微型法布里-珀罗干涉仪有望为各类微传感系统中的光学测量技术进步作出重要贡献。

    关键词： 微悬臂梁、瑞利范围、光学测量、光学干涉测量、法布里-珀罗干涉仪

    更新于2025-09-10 09:29:36

  • 基于氮化铝微悬臂梁在高阶谐振模式下激励并采用均匀氧化石墨烯传感层的湿度传感器

    摘要： 基于叉指换能器（IDT）激励的微悬臂梁谐振式湿度传感器被提出以实现高灵敏度检测。该微悬臂梁表面涂覆均匀氧化石墨烯（GO）薄膜作为传感层。研究首次采用IDT激励压电微悬臂梁使其工作于高阶谐振模式并产生强信号。通过AlN/Si（表面重掺杂）叠层结构，使微悬臂梁获得极小的频率温度系数（-23.6 ppm/?C）。采用真空过滤法在微悬臂梁表面形成厚度可控且均匀的GO薄膜。与相同结构尺寸的常规电极激励传感器相比，IDT激励传感器的灵敏度从9.67提升至84.41 Hz/%RH。GO薄膜越厚，湿度传感器灵敏度越高。在10%RH至90%RH的宽测试范围内，传感器表现出极小的湿度迟滞（<3%RH）。此外，该传感器具有优异的短期重复性、快速响应特性及约10秒的短恢复时间。

    关键词： 湿度传感器、叉指换能器、均匀氧化石墨烯薄膜、微悬臂梁、高阶谐振模式

    更新于2025-09-09 09:28:46

  • [IEEE 2018年国际趋同技术发展趋势会议（ICCTCT）- 印度科因巴托尔（2018.3.1-2018.3.3）] 2018年国际趋同技术发展趋势会议（ICCTCT）- 基于绝缘体上硅背靠背悬臂结构的差压传感器

    摘要： 在我们的日常生活中，差压传感器可应用于诸多领域。这类压力传感器用于测量两个不同压力水平之间的差值。其制造过程主要采用体微加工工艺工具，因此相比传统常规传感器，此类传感器具有成本低、可靠性高的特点。该传感器主要用于比较液体上下方压力及流速，并测量节流处压力变化。差压传感器的输出随上（或）下悬臂梁压力水平的变化而改变：当底部压力值较高时，膜片向前（即向上）偏转；当底部压力值较低时，膜片向后（即向下）偏转。该设计主要应用于民用和工业领域。

    关键词： 农业应用、微机电系统（MEMS）、湿度传感器、温度传感器、有限元法（FEM）、微悬臂梁

    更新于2025-09-04 15:30:14