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MEMS BPSK到ASK转换器
摘要： 目的——本文旨在研究利用微机电系统（MEMS）将二进制相移键控（BPSK）信号转换为更简单的振幅键控（ASK）方案的可行性。设计/方法/途径——原型设计遵循SOIMUMPs?制造工艺约束条件。这些工艺约束对可测试内容施加了几何限制。基于这些约束建立了数学模型，并通过MATLAB?优化响应特性。优化后的设计采用CoventorWare?进行有限元分析验证，最终通过实物器件实验室测试确认理论预测。研究发现——理论预测与2.9平方毫米原型器件的实测数据高度吻合。该原型在174kHz载波频率、3kHz BPSK数据速率及6V载波幅度条件下测试，两个输出传感器分别测得0.96和0.94的ASK调制指数。原创性/价值——本研究提供了BPSK转ASK的MEMS解决方案，同时明确了制约调制指数和数据速率提升的关键因素。此类器件可应用于集成能量收集器和MEMS传感器的无线传感器网络（WSN）节点，其MEMS特性有助于实现节点集成，从而有望减小体积并降低成本。
关键词： 调制指数，混频器，ASK检测器，微机电系统（MEMS），BPSK转换器
更新于2025-11-14 17:28:48
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具有五自由度的大范围运动三维MEMS扫描仪
摘要： 我们在此讨论一种采用单一代工工艺制造的新型混合模式3D XYZ扫描仪。该设备在X、Y和Z轴方向具有大范围运动能力（X和Y轴14.1微米，Z轴97.9微米），还能绕双轴旋转（7.4度），构成五自由度扫描仪。垂直驱动既可采用运动范围更大的热致动器，也可使用响应速度更快的电容式致动器（最高可达3.2千赫兹全响应）。虽然该设备适用于扫描探针显微镜、微米级光学显微技术及生物对象操控等多种应用场景，但其设计初衷是作为纳米制造领域能在表面以纳米级精度和分辨率进行"原子喷涂"的三维扫描仪。为展示该设备与其他复杂MEMS系统的集成能力，我们将其与用作原子束闸门的XY扫描仪相结合。整个系统具备七自由度和十二个驱动电机，由于采用低成本商用代工厂稳健成熟的工艺制造，既能轻松廉价地批量复制，又可集成至其他复杂系统形成系统之系统。
关键词： 静电执行器、热执行器、梳齿驱动器、纳米定位、位置控制、微机电系统（MEMS）
更新于2025-09-23 15:22:29
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基于MEMS传感器和执行器的新型发射模块自监测?；は低?
摘要： 本文介绍了一种新型发射模块自监测?；は低车纳杓啤⒅圃煊氩馐?。该系统基于微机电系统（MEMS）传感器和执行器，用于微波放大器电路的监测与?；ぁ７⑸淠？樽约嗖獗；は低秤缮淦礛EMS开关、定向耦合器和MEMS功率传感器组成。当微波放大器电路处于异常状态（"开路"、"短路"或"过载"）时，该系统可在36毫秒内将故障的微波放大器电路隔离，并重新配置发射?？槭迪肿杩蛊ヅ洹Ｔ诠刈刺?，设定开关功率与实际开关功率的误差小于9%。实测结果与理论值高度吻合。
关键词： 微机电系统（MEMS）功率传感器、微波放大器电路、射频MEMS开关、自监测?；?
更新于2025-09-23 15:22:29
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[IEEE 2018年第31届国际真空纳米电子学会议(IVNC) - 日本京都 (2018年7月9日-2018年7月13日)] 2018年第31届国际真空纳米电子学会议(IVNC) - 一种由碳纳米管墨水制成的稳定且长寿命的平面场发射阴极
摘要： 我们展示了一种专用于微型化透射电子显微镜的平面阴极，其所有组件均基于MEMS硅玻璃工艺制造。该阴极采用商用碳纳米管墨水制成，未添加任何填料，实现了稳定且长寿命的电子场发射。
关键词： 平面阴极、微机电系统（MEMS）、场发射、碳纳米管墨水、透射电子显微镜（TEM）
更新于2025-09-23 15:21:21
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[IEEE 2018年第19届国际电子封装技术会议(ICEPT) - 上海 (2018.8.8-2018.8.11)] 2018年第19届国际电子封装技术会议(ICEPT) - 一种特殊生物传感器的机械仿真
摘要： 悬臂梁式传感器是最常见的MEMS传感器之一。本文以分析换能器的过程为例，阐述了如建立模型和对结果数据进行数学运算以获取悬臂梁式传感器性能参数的方法。我们还说明了悬臂生物传感器的工作原理，同时解释了悬臂梁的工作理论，以及基于机械仿真指导的悬臂梁传感器设计。
关键词： 仿真、ANSYS、生物传感器、悬臂梁、微机电系统（MEMS）
更新于2025-09-23 15:21:01
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[IEEE 2018国际光学MEMS与纳米光子学会议(OMN) - 洛桑(2018.7.29-2018.8.2)] 2018年国际光学MEMS与纳米光子学会议(OMN) - MEMS扫描镜的选择性渗透阻尼技术
摘要： 准静态MEMS扫描镜用于任意轨迹的光束偏转。其必须根据所需速度提供宽泛的机械带宽。本研究描述了一种通过凝胶液滴被动阻尼MEMS镜的方法，可有效提升可用带宽。该方法通过向镜体结构注入介电凝胶实现，并提出了相应的渗透工艺。研究考察了最大倾角、频率响应等静态与动态特性，同时探讨了镜面双轴耦合等寄生效应的抑制方法。
关键词： 阻尼、频率响应、粘弹性凝胶、扫描镜、微机电系统（MEMS）
更新于2025-09-23 15:21:01
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单轴电磁MOEMS微镜的快速多目标优化策略
摘要： 微光机电系统（MOEMS）微镜是移动图像投影仪（超微型投影仪）的关键使能技术。低尺寸和低功耗是超微型投影仪的核心约束条件。本研究提出了一种硅基单轴电磁扭转微镜的快速优化方法。该器件通过外部永磁体提供所需磁场，驱动扭矩由镜板上的矩形多匝线圈微结构产生。多重要求关联着线圈电流、占用面积、工作频率、镜面悬臂长度及磁体尺寸等参数。仅需对磁场分布和机械行为作一般性假设，我们证明可完全解析描述该微镜的电磁与力学特性，从而使优化目标（包含镜体与磁体的组件尺寸及驱动电流）能表示为设计参数的闭式函数。随后采用标准多目标优化算法，可极快速评估各优化目标间的权衡关系并探索帕累托前沿。通过有限元法（FEM）仿真估算，模型假设导致的误差较精确解仅差百分之几。
关键词： 微光机电系统（MOEMS）、微镜、磁驱动、微型投影仪、微机电系统（MEMS）、多目标优化
更新于2025-09-23 15:21:01
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[2018年IEEE第13届纳米/微米工程与分子系统国际年会（NEMS）- 新加坡，新加坡（2018.4.22-2018.4.26）] 2018年IEEE第13届纳米/微米工程与分子系统国际年会（NEMS）- 三维硅微镜的光学耦合
摘要： 自由空间光耦合被视为影响光学系统性能的重要特性。其中透镜和反射镜等耦合元件有助于克服高斯光束的发散并实现相位匹配。本文重点研究基于高斯光束传播的三维（球面）镜自由空间耦合。我们探讨了光学微机电系统（MEMS）中三维反射镜的设计与制造。耦合效率是任何MEMS电路设计中的关键因素，通过组装光学部件可获得高耦合效率，但这会增加集成难度。本工作报道了一种高耦合效率、单片集成的三维硅微反射镜，该反射镜能够调控在硅衬底平面内传播的高斯光束。文中提出了一种制备三维微反射镜的微加工方法。
关键词： 微加工、三维硅微镜、光耦合、微机电系统（MEMS）、高斯光束
更新于2025-09-23 15:19:57
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[2018年IEEE国际超声研讨会（IUS）- 日本神户（2018.10.22-2018.10.25）] 2018年IEEE国际超声研讨会（IUS）- 掺杂33%钪的氮化铝薄膜的高产量生产与非破坏性质子特性测绘
摘要： 采用溅射工具在100毫米蓝宝石衬底上沉积了钪含量为22%（Sc0.22Al0.78N）的氮化铝钪（ScAlN）薄膜。与纯氮化铝相比，该薄膜展现出增强的压电性能，使其在微机电系统（MEMS）应用中颇具前景。在100毫米和20毫米波长下测得介电常数和损耗角正切值分别为εr≈11.7±0.2和tanδ≈0.002±0.001。这些结果表明其在电压制造和传感器件方面具有很高的应用潜力。
关键词： 介电性能、压电性、溅射、氮化钪铝（ScAlN）、薄膜、微机电系统（MEMS）
更新于2025-09-23 09:29:56
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[IEEE 2019年第18届国际光通信与网络会议(ICOCN) - 中国黄山(2019.8.5-2019.8.8)] 2019年第18届国际光通信与网络会议(ICOCN) - 基于MEMS工艺制备的硅基薄膜高灵敏度光纤压力传感器
摘要： 本文介绍了一种采用微机电系统(MEMS)技术制备高均匀性1.2微米厚二氧化硅薄膜的工艺流程。该薄膜制备始于商用双抛光的300微米硅片（底面覆有二氧化硅层），通过光刻、湿法腐蚀和感应耦合等离子体(ICP)刻蚀工艺将二氧化硅薄膜从硅片上释放。通过热键合工艺将该薄膜与外径125微米的刻蚀光纤端面结合，制成了光纤法布里-珀罗(FP)压力传感器。所获传感器具有12.4纳米/千帕(85.3纳米/磅每平方英寸)的静态压力灵敏度，在要求微型化与高灵敏度的医疗应用领域具有重要应用潜力。
关键词： 法布里-珀罗（FP）干涉仪、微机电系统（MEMS）、光纤压力传感器
更新于2025-09-16 10:30:52