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[2019年IEEE光子学与电磁学研究秋季研讨会(PIERS-Fall)- 中国厦门(2019.12.17-2019.12.20)] 2019光子学与电磁学研究秋季研讨会(PIERS-Fall)- 具有宽带偏振转换与电磁辐射特性的超薄自馈电超表面
摘要: 提出了一种仅利用微波等离子体辅助化学气相沉积(CVD)方法控制金刚石晶体表面附近带负电的氮空位(NV?)荧光中心二维分布的模型。该方法采用同位素富集的甲烷(12CH4)、氢气(H2)和氮气(N2)混合气体,通过微波等离子体辅助CVD在同质外延生长的图案化金刚石(001)衬底上制备CVD金刚石层。当利用共聚焦显微镜光致发光成像技术对表面进行观测时,发现金刚石表面人工形成了精细沟槽,且NV?中心选择性地分布于这些沟槽中。结果表明,通过微波等离子体辅助CVD可有效形成尺寸与密度可控的NV?中心,该技术在金刚石量子传感器制备领域具有应用潜力。
关键词: 掺杂、氮空位中心、同质外延、沟槽结构、金刚石、微波等离子体辅助化学气相沉积
更新于2025-09-19 17:13:59
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基于iGPS与激光测距的大型部件装配高效位姿预对准方法
摘要: 提出了一种仅利用微波等离子体辅助化学气相沉积(CVD)方法控制金刚石晶体表面附近带负电氮空位(NV?)荧光中心二维分布的模型。该方法采用同位素富集的甲烷(12CH4)、氢气(H2)和氮气(N2)混合气体,通过微波等离子体辅助CVD在同质外延生长的图案化金刚石(001)衬底上制备CVD金刚石层。当通过共聚焦显微镜光致发光成像观察表面时,可发现金刚石表面人工生成了精细沟槽,且NV?中心选择性地分布在这些沟槽中。结果表明,通过微波等离子体辅助CVD可有效形成尺寸与密度可控的NV?中心,该技术有望应用于金刚石量子传感器的制备。
关键词: 掺杂、氮空位中心、同质外延、沟槽结构、金刚石、微波等离子体辅助化学气相沉积
更新于2025-09-16 10:30:52