Nd:YAG激光产生的微滴锡等离子体中的辐射传输与光学深度标度

摘要： 基于锡液滴的1微米激光等离子体极紫外(EUV)光源发射光谱的光学深度实验标度关系表明：通过单一关键参数——等离子体光学深度构建的标度关系，可精确描述液滴直径(16-65微米)和激光脉宽(5-25纳秒)大范围变化时等离子体复合光谱发射的观测变化。实验在1.4×1011 W/cm2恒定激光强度下进行，该强度能使13.5纳米附近2%带宽（工业EUV光刻相关波段）的发射能量占总光谱能量的比例达到最大值。采用一维辐射传输模型发现：等离子体相对光学深度随液滴尺寸线性增长，且斜率随激光脉宽增加而增大。对于小液滴和短脉宽情况，13.5纳米附近2%带宽的发射光占总光谱能量的比例可超过14%，这使得Nd:YAG激光转换为工业可用EUV辐射的转换效率有望媲美当前最先进的CO?激光驱动源。