绿色超快激光脉冲实现玻璃与硅的微焊接

摘要： 本工作采用振镜扫描系统控制的515纳米皮秒激光，在玻璃与硅之间形成了光学接触直接键合?；竦昧宋蘖盐啤⑽薇咴灯扑鸷筒辛粑锏暮附有Ч?，断裂强度高达122兆帕。通过XRD和EDS分析分别发现焊接区产生了新晶相(SiO2)，且硅与氧存在空间分布梯度，表明激光辐照过程中发生了物质混合与互扩散。倒置显微镜分析显示焊接区的近红外光透过率较非焊接区显著提升。共聚焦激光扫描显微镜观测到焊缝形貌与宽度，其轴向焦点位置变化趋势与非线性吸收效应产生的泪滴结构一致。扫描速度与激光重复频率同样影响焊缝宽度与形貌。