[IEEE 2019年第20届国际固态传感器、执行器与微系统会议暨第33届欧洲传感器会议（TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII） - 德国柏林（2019年6月23日-27日）] 2019年第20届国际固态传感器、执行器与微系统会议暨第33届欧洲传感器会议（TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII） - 基于低成本微球光刻的功能性等离子体光纤传感器

摘要： 本文提出了一种低成本制备基于等离子体光纤折射率传感器的技术。采用微球光刻（MPL）技术在薄铝膜上制作纳米孔阵列，从而在SMF-28光纤切割端构建基于超常光学透射（EOT）的传感器。该技术利用自组装微球作为光学元件，实现了等离子体探针的极低成本图案化。当介质折射率发生变化时，光纤反射光谱随之改变。所制备的传感器浸入不同葡萄糖浓度的水溶液中，测得最低检测限为33毫克/毫升。