激光透射微加工中不同激光通过次数对厚PMMA微通道特性的实验研究

摘要： 加工深度是微通道的重要特性。激光束加工工艺是最适合制造微通道的工艺之一，该工艺在制造微流控器件方面具有卓越潜力，这些器件对电泳、色谱分析、血液蛋白研究、DNA分析等各类生物医学应用至关重要。本研究尝试采用激光透射微加工工艺，在浸没条件下对厚聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)板进行微通道加工。采用近红外波长的纳秒脉冲Nd:YAG激光器进行浸没式激光透射微加工操作，以降低加工过程中的不利热效应。将微通道深度和热影响区(HAZ)宽度作为加工响应参数，通过响应面法(RSM)对三种不同激光束扫描次数各开展31次实验（共三组实验），研究了激光束扫描次数变化对深度和HAZ宽度的影响。