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利用原子力显微镜研究悬浮导电GaAs/AlGaAs纳米结构的弹性特性
摘要： 本文通过基于相对较厚的GaAs/AlGaAs悬空膜结构（其刚度显著超过原子力显微镜悬臂梁刚度）的实验研究，证实了采用原子力显微镜悬臂梁进行纳米压痕技术测定悬空半导体结构弹性特性的适用性——该结论得到了实验测得的不同测试点处相对刚度与绝对刚度值均与理论预测相符的验证。
关键词： 纳米机电系统、砷化镓/铝镓砷、原子力显微镜、悬浮纳米结构
更新于2025-09-23 16:14:49