采用快速扫描方法结合数字图像处理技术作为扫描电子显微镜的标准采集模式

摘要： 本研究提出一种结合数字图像处理技术的高效快速扫描方法（如电视扫描），以替代传统慢扫描模式作为通用扫描电子显微镜（SEM）的标准采集方案。采用该方法获取的SEM图像在清晰度和噪声水平上与慢扫描图像质量相当，且能在全真空条件下抑制充电效应——这是该领域长期存在的难题。设计该方法需解决两个关键问题：一是基于电视扫描图像频率特性，通过逆滤波器实现图像质量的精准补偿；二是开发抗噪声的位置配准鲁棒性强的精确图像积分（降噪）技术，这涉及图像拼接技术的运用及所需积分图像数量的估算。最终将本TV扫描模式的结果与慢扫描图像及传统TV扫描图像进行了对比验证。