光学制造材料科学与技术 || 新型工艺与表征技术

摘要： 现有多种常规的光学制造工艺与表征技术，相关内容在文献[1, 2]中有详细记载。这些技术包括：? 采用干涉测量技术和测试镀层来测量面形、楔角和平行度 ? 运用针式轮廓仪、白光干涉仪和原子力显微镜(AFM)测量表面粗糙度 ? 通过光学显微镜、共聚焦显微镜、暗场显微镜及目视检测评估表面质量 ? 利用波美密度浮子、pH传感器和粒度分析仪表征抛光液 ? 使用硬度计检测抛光盘材料（尤其是沥青）特性 本章将介绍一些能深入洞察光学制造过程的新颖技术（可能还包括鲜为人知的技术）。前文第2-5章重点阐述了光学制造过程中及完成后决定工件基本特性的现象，即面形、表面质量、表面粗糙度和材料去除率。本章探讨的新型工艺与表征技术，是为可能希望运用这些方法的光学制造工程师或磨镜技师而介绍的。