基于远心立体与散斑投影方法的显微三维测量技术

摘要： 微结构的三维测量日益重要，目前已发展出多种显微测量方法。但对于数毫米量级尺寸且要求亚像素或亚微米级精度的情况，目前几乎还没有有效的测量手段。本文提出一种结合显微立体测量与数字散斑投影的方法：搭建主要由两个远心相机和工业投影模块组成的显微实验系统，并实施远心双目立体重建流程。首先通过对不同位置的网格阵列和不同高度差的圆柱阵列进行三维测量来验证测量精度，随后采用两把三丰千分尺标准块进一步验证。实验结果表明，该方法能在毫米尺度上以亚像素甚至亚微米级精度获取微结构的三维信息。