3.4：TFE无掩模技术在可折叠AMOLED显示器中的应用

摘要： 用于可折叠AMOLED显示屏的薄膜封装（TFE）必须具备良好的可靠性与优异的弯折性能。传统TFE掩模易产生颗粒，且厚TFE层在面板弯折时会出现裂纹。我们开发了具有高防水性且极薄厚度的Al2O3层TFE方案，满足了可靠性与弯折性的双重需求。该TFE结构中的Al2O3层采用低温原子层沉积（ALD）工艺制备，并通过优化Al2O3干法刻蚀参数实现了无掩模TFE工艺——研究发现BCl3在无机层（SiOx/SiNx/SiOxNy）与Al2O3之间具有卓越的干法刻蚀选择性。此外，我们还尝试让TFE有机层充当刻蚀掩模并证实其可行性，表明所有TFE掩模均可有效去除。更重要的是，我们验证了无掩模TFE结构的AMOLED显示屏具备优良的光学特性与可靠性表现。