镍沉淀多孔硅用于气体传感器的特性

摘要： 本文讨论了改性多孔硅的制备与性能，并提出将其作为气体探测器的敏感层方案。通过镍的沉淀法和电化学沉积法对样品进行改性，采用原子力显微镜和扫描电子显微镜（SEM）观察样品表面形貌，利用SEM联用能谱仪分析样品化学成分，使用SQUID磁强计测量磁响应，通过电化学阻抗谱研究样品在交变电流条件下对异丙醇蒸汽的敏感性。实验表明，相比低阳极电流密度制备的样品，高阳极电流密度制备的系列样品对异丙醇蒸汽表现出更高的灵敏度。