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源自磁控溅射等离子体的“行星式”银纳米颗粒
摘要： 在气体聚集团簇源中，纳米颗粒通过单原子聚集成颗粒以及较小颗粒团聚形成较大颗粒而产生。由于小颗粒通常带电，它们可能通过静电力相互吸引或排斥。本工作报道了在磁控溅射团簇源中，由作用在纳米颗粒上的电场力和离心力共同形成的束缚多纳米颗粒体系。对沉积的"行星式"纳米颗粒体系进行透射电子显微镜分析，显示出与颗粒不同电荷态相符的特征性颗粒间距和尺寸。模拟证实存在至少包含7-8颗卫星颗粒的亚稳态束缚纳米颗粒体系。在团簇源内发现此类"行星式"纳米颗粒体系，为进一步研究其特性及如何实现更精准的控制与探索开辟了新途径。
关键词： 行星的、银纳米粒子、粒子轨道、卫星、气体聚集团簇源、磁控溅射
更新于2025-09-23 15:22:29
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通过顶部沉积CuO纳米团簇增强的WO3溅射沉积薄膜的氢气传感性能
摘要： 采用磁控管气体聚集团簇源（GAS）在溅射沉积的三氧化钨（WO3）薄膜表面制备了高纯度氧化铜（CuO）纳米团簇。将该材料组装为电阻式氢气传感器并测试评估其响应性能。研究表明：添加CuO团簇能显著提升纯WO3薄膜的灵敏度，且随着CuO团簇含量增加，CuO/WO3体系的灵敏度持续升高。当CuO团簇形成足够厚且致密的层状结构时，电阻响应特性会发生反转?；诖行形卣?、常规及近常压X射线光电子能谱分析以及电阻率测量结果，我们提出该传感机制源于p型CuO与n型WO3之间形成的纳米级p-n结。研究同时强调了GAS技术在制备传感及/或催化活性材料方面的优势。
关键词： 氢气传感器、气体聚集团簇源、磁控溅射、氧化钨、纳米复合材料、氧化铜
更新于2025-09-10 09:29:36