电子束沉积NiOx薄膜的光电特性及其在太阳能电池中的应用

摘要： 制造用于光电器件的高效氧化镍（NiOx）薄膜是一项具有挑战性的任务，因为光电特性受沉积技术和薄膜厚度影响显著。本研究探究了电子束物理气相沉积法制备的NiOx薄膜厚度对其性能的影响，并对比了退火处理与初始沉积态薄膜的光电特性差异。随着初始沉积膜和退火膜厚度的递增，光学透过率逐渐降低。初始沉积膜的粗糙度随厚度增加呈线性增长，但退火膜呈现不同变化规律。初始沉积膜表面观察到高致密度的球形晶粒，而退火后晶粒尺寸发生显著改变。退火膜比对应初始沉积膜具有更高的功函数。本研究为设计高效材料利用率的光伏器件沉积工艺提供了重要见解。