可调谐等离子体氮化铪纳米颗粒及阵列

摘要： 我们展示了可调谐等离子体氮化铪（HfN）纳米颗粒的制备。HfN是一种金属难熔材料，具有在可见光范围内支持等离子体共振的潜力，类似于银和金，但还具有高熔点、化学稳定性和机械硬度等额外优势。然而，HfN纳米颗粒的制备及其等离子体潜力的实验验证仍处于起步阶段。在此，我们制备了高质量的HfN薄膜，椭圆偏振仪显示其具有等离子体潜力。利用这些薄膜，通过聚焦离子束加工出纳米棒和纳米三角形，并通过阴极荧光成像识别了等离子体共振。作为另一种制备策略，采用优化的电子束光刻工艺制备了HfN纳米颗粒阵列，同样表现出明显的表面等离子体共振。这些结果为进一步探索在材料坚固性至关重要的等离子体驱动应用中的HfN纳米颗粒铺平了道路。