Zn3N2相分解对高掺杂ZnO:Al,N薄膜性能的影响

摘要： 研究铝氮共掺杂及热退火对氧化锌薄膜性能的影响，不仅对实现薄膜的p型导电性至关重要，也有助于提升氧化锌基紫外探测器的性能。我们采用磁控溅射逐层生长技术，在硅衬底上制备了含Zn3N2相的高浓度掺杂ZnO:Al,N薄膜（ZnO:Al,N-Zn3N2）。本研究对比分析了原位生长与退火处理后高浓度掺杂ZnO:Al,N薄膜的结构、光学及电学特性。结果表明：常压条件下对ZnO:Al,N-Zn3N2薄膜进行热退火可使Zn3N2相分解。通过X射线衍射、能量色散X射线分析、拉曼散射、光致发光、X射线光电子能谱及X射线发射光谱等手段，我们详细研究了该现象对ZnO:Al,N薄膜性能的影响机制。