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从EBIC图像到定性少数载流子扩散长度图谱
摘要： 本文提出一种新方法，旨在对横截面样品进行少数载流子扩散长度分布图绘制。该方法基于单次电子束感应电流（EBIC）采集，并通过分析各扫描点处EBIC信号斜率变化实现。将该方法应用于低掺杂硅外延层制备的钉扎光电二极管阵列，所提取的电子扩散长度分布图与器件掺杂分布预期高度吻合。TCAD仿真也定量验证了实测扩散长度分布图。本研究同时讨论了该方法的优缺点。
关键词： CMOS图像传感器、CMOS、扫描电子显微镜（SEM）、仿真、电子束感应电流（EBIC）、深亚微米工艺、固态图像传感器、半导体材料测量
更新于2025-09-10 09:29:36