含六氟异丙醇苯乙烯与光化学酸产生剂相互作用的基础研究——用于光刻胶体系的合理化设计

摘要： 本文研究了某些离子型光致产酸剂（PAGs）对含六氟异丙醇（HFA）聚苯乙烯在碱性显影液中溶解的抑制作用——该效应对于提升光刻胶图案化分辨率至关重要。通过评估溶解度及HFA基团中OH质子的1H-NMR分析，探究了溶解抑制因素与机理。当PAGs结构满足以下条件时，其溶解抑制效果增强：(a)阴离子应具有更高碱性和更小范德华体积；(b)阳离子需通过与富电子芳香环的共轭作用实现稳定。该抑制过程中，HFA基团与PAGs阴离子部分（其与抗衡阳离子解离后释放）产生相互作用?；贕aussian 09的DFT计算预测并量化了这些相互作用，从而为光刻胶体系设计具有更强溶解抑制效果的PAGs提供了理论依据。