金属-多孔GaAs结构在水吸附下的电学特性

摘要： 本文报道了电化学制备多孔GaAs的形貌、光学、发光及电学特性，以评估其湿度传感性能。所获多孔GaAs呈现非均匀表面形貌，由金字塔状微晶和微孔构成。光致发光与FTIR研究表明该材料表面覆盖有砷和镓的氧化物。通过阻抗谱分析水蒸气对金属-多孔GaAs电学特性的影响，发现水分吸附导致奈奎斯特图向高频区偏移。在潮湿环境中，电阻Rv和电荷积累特征时间s分别降低1.4倍和5倍；电阻Rb和电容Cb分别减小1.4倍和4.4倍。金属-多孔GaAs结构对水分子吸附的响应归因于体相电阻率和势垒高度的降低。多孔GaAs表面形成的氧化层具有双重作用——既增强水分子吸附能力，又防止表面发生结构性退化。