激光诱导碳微等离子体烧蚀熔融石英的特性

摘要： 研究了激光诱导微等离子体对透明材料表面结构化的特征，并测量了其微等离子体的强度。探究了熔融石英表面在约束模式下由一系列纳秒脉冲激光诱导的碳微等离子体形成微形貌的过程，并将测量的强度与微形貌的特征进行了对比。确定了所形成形貌和轨迹的深度对激光参数的依赖性。研究表明，微结构形成的机制是多因素相关的，与微等离子体对熔融石英表面的烧蚀作用有关，而该微等离子体在脉冲结束后仍能持续较长时间。