[微/纳米技术] 微纳制造技术 第一卷 || 金属纳米点阵列的制备

摘要： 金属纳米点阵列具有独特的光学特性，有望在生物传感器和各类光学器件中获得广泛应用。本节介绍了几种简单高效的金属纳米点阵列制造工艺，这些工艺基于基底上沉积的薄金属薄膜涂层与热退润湿相结合的方法。首先讨论的是常规热退润湿法，该方法表明可通过选择工艺条件来控制平均点直径。第二种工艺是在镀膜金属表面使用网格图案化技术，能够制备出点径均匀且高度有序排列的纳米点阵列。第三种工艺通过在纳米网格图案化基底上实现自组织方式生成金属纳米点阵列，其通过将纳米点阵列转移至粘性薄膜形成高产率工艺。本文还探讨了这些工艺的基本原理。