柔性显示器生产中激光剥离工艺的牺牲层

摘要： 在本研究中，我们为激光转移工艺开发了一种新型牺牲层（SL）。通过玻璃粉末将金属基底（即殷钢箔）临时贴合在玻璃基底上。为确保成功剥离，在金属箔与玻璃基底之间预先沉积了牺牲层。首次采用非晶氮化镓和非化学计量氧化镓作为牺牲层，应用于金属箔的激光剥离（LLO）工艺。金属箔与玻璃片的键合通过热处理实现，而剥离则通过LLO方法完成。激光波长选用355 nm，该波长能被牺牲层完全吸收。通过透射电子显微镜、元素分布分析和能量色散X射线光谱分析，研究了元素迁移及键合-剥离机制。