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用于释放金属化多层SU-8器件的牺牲层技术
摘要: 基于SU-8材料的器件制造成本低廉,推动了即时检测设备(POC)、微全分析系统(μTAS)和芯片实验室技术的发展——这些领域都需要廉价且一次性的器件。这通常意味着需要独立悬浮的器件和可重复使用的载体晶圆,因而必须采用牺牲层来实现器件与基板的剥离。虽然无机材料(金属和氧化物)与有机材料(聚合物)都曾被用作牺牲层材料,但它们均不适用于多层SU-8器件的制造与释放。我们提出采用光刻胶AZ 15nXT(德国乌尔姆MicroChemicals GmbH公司)作为牺牲层。该材料在SU-8加工过程中保持稳定,适合制备独立悬浮的多层器件。我们展示了两种使AZ 15nXT形成稳定牺牲层的交联方法,以及三种多层SU-8器件的牺牲层释放方案。通过制备三层独立悬浮的微流控电喷雾电离(ESI)芯片和带有微通道内电极的独立多层器件,验证了本释放工艺的可行性。
关键词: 微细加工、微流控、独立式、微芯片、SU-8光刻胶、牺牲层释放、多层芯片、AZ 15nXT光刻胶
更新于2025-09-23 15:23:52
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基于改进性能模型与优化算法的独立光伏系统最优容量配置
摘要: 独立光伏系统主要由光伏板和蓄电池组构成。该系统的应用主要受限于较高的初始成本。通过优化设计可缓解这一问题,从而获得可靠且经济高效的系统。然而,优化设计是一项复杂任务。研究表明人工智能(AI)能有效解决光伏系统容量配置问题。本文提出一种基于人工智能的独立光伏系统容量配置方法,采用差分进化多目标优化算法来平衡系统可靠性与成本。该方法以降低负荷缺电概率和生命周期成本为双目标函数,使用数值算法作为对比基准来评估所提方法的速度与精度。结果表明:AI算法能成功应用于独立光伏系统容量配置,其计算速度约为数值方法的27倍。由于AI算法的随机特性,在12次运行中有6次获得精确最优解,其余6次获得近似最优解。这些近似最优解虽未完全达到理论最优性能,但与最优解差异甚微,说明该方法的计算结果至多属于工程实用最优解。
关键词: 独立式、光伏、容量确定、优化、演示
更新于2025-09-23 15:21:01
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70微米以下无切缝外延硅及减薄Cz/FZ硅箔的独立与支撑加工制备太阳能电池:近期进展与挑战综述
摘要: 2018年晶体硅组件中昂贵硅(Si)材料的用量已降至每瓦峰值4克,这主要得益于硅片厚度减小、锯缝损耗降低以及组件效率提升。随着传统多线切割硅锭技术的持续进步,最终可能生产出厚度低至100微米的硅片。在此基础上,无锯缝剥离技术正在研发中,该技术可实现远低于100微米的硅片厚度且硅锯缝废料可忽略不计。这类超薄硅片和硅箔比当前标准的165-180微米厚硅片重量更轻,同时具有显著的柔韧性和易碎性。这就要求重新思考如何在制造线上以高机械良率和大批量生产效率处理及加工薄硅来制造太阳能器件。本文全面概述了在薄硅箔上制造太阳能电池的不同方法,特别详细讨论了三种技术路径:(1)独立式薄硅加工;(2)以导电低成本硅衬底("等效硅片"方案)机械支撑的薄硅加工;(3)与透明玻璃盖板键合的薄硅加工。针对每种情况,本文阐述了主要挑战并总结了近期应对进展。本研究采用通过多孔硅剥离和无锯缝减薄硅片(低于70微米)制备的50微米厚外延硅箔作为模型衬底。
关键词: 脆性、层转移、破损、剥离、玻璃衬底、薄硅箔、支撑加工、外延硅、键合、粘合剂、晶圆等效、低成本硅衬底、柔韧性、无切缝、独立式
更新于2025-09-16 10:30:52
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[网络与系统讲义] 智能与可持续城市的可再生能源 第62卷(可再生能源系统中的人工智能)|| 为阿尔及利亚阿德拉尔地区住宅设计独立光伏供电系统
摘要: 本文提出了一种为阿德拉尔地区住宅供电的独立光伏系统设计方案,该设计基于当地一年实测太阳辐射数据。所提出的系统综合考虑了阿德拉尔地区的气象数据及住宅用电需求:2015年该地年均可用太阳能资源为6.45千瓦时/平方米/天,而住宅全年电力负载消耗总量为2575.07千瓦时。本文通过实例阐释了如何为农村独栋住宅配置光伏发电系统,以及太阳能供电的实际应用方案。
关键词: 太阳能、光伏系统、电力、独立式
更新于2025-09-09 09:28:46