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动态冲击条件下大气环境中测试的多晶硅微接触界面电压对摩擦学特性的影响
摘要： 采用多晶硅微摩擦计研究了动态机械冲击与热切换条件下摩擦学特性的演变过程。通过定期静态粘附测试追踪表面特性变化。在动态使用寿命期间，表面经历了两个明显阶段——磨合期（表面改性微乎其微）和退化期（表面显著改性且对应测得粘附力增大）。热切换条件与纯机械切换的微机电系统相比，无论是磨合期时长还是退化速率均未发现统计学显著差异。
关键词： 粗糙接触、表面碳氢化合物、热切换、摩擦学、粘附、环境空气测试
更新于2025-09-04 15:30:14